報告名稱

第三代半導(dǎo)體材料及應(yīng)用聯(lián)合創(chuàng)新基地項目（一期）職業(yè)病危害預(yù)評價報告

建設(shè)單位（用人單位）名稱

北京國聯(lián)萬眾半導(dǎo)體科技有限公司

聯(lián)系人

李少鵬

地理位置

北京市順義區(qū)高麗營鎮(zhèn)中關(guān)村臨空國際高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)基地內(nèi)

項目名稱

第三代半導(dǎo)體材料及應(yīng)用聯(lián)合創(chuàng)新基地項目（一期）

項目簡介

建設(shè)項目以SiC襯底材料為原料，采用清洗、光刻、刻蝕、薄膜、蒸發(fā)濺射等工藝，建成后將形成年加工6英寸第三代半導(dǎo)體晶圓24萬片能力。

評價人員

項目負責(zé)人

于迎芳

報告編制人

范鳳杰、段程鑫、馬立晶

現(xiàn)場調(diào)查人員

——

時間

2019.1.17

采樣人員

——

時間

——

檢測人員

——

時間

——

建設(shè)項目（用人單位）存在的職業(yè)病危害因素及檢測結(jié)果

建設(shè)項目存在的主要職業(yè)病危害因素為噪聲，檢測結(jié)果滿足限值要求。

評價結(jié)論

與建議

結(jié)論：

按照《國民經(jīng)濟行業(yè)分類》（GB/T4754-2017），擬建項目屬于計算機、通信和其他電子設(shè)備制造中的電子元件制造業(yè)。

依據(jù)《建設(shè)項目職業(yè)病危害風(fēng)險分類管理目錄（2012年版）》（安監(jiān)總安健[2012]73號），擬建項目職業(yè)病危害風(fēng)險分類為較重。

擬建項目以SiC襯底材料為原料，經(jīng)清洗、光刻、刻蝕、薄膜、蒸發(fā)濺射、磨劃片等工藝，制成SiC 6英寸晶圓片或GaN功率器件，具備半導(dǎo)體材料生產(chǎn)行業(yè)特點，生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的職業(yè)病危害因素包括硫酸、硝酸、鹽酸、氫氟酸、過氧化氫、氨、氯、硅烷、二氯硅烷、噪聲等，根據(jù)工程分析、擬采取的職業(yè)病危害防護設(shè)施、類比調(diào)查與評價，擬建項目運行過程中存在發(fā)生職業(yè)中毒、噪聲聾、化學(xué)性灼傷等風(fēng)險，經(jīng)綜合分析，本報告認為擬建項目為職業(yè)病危害較重的建設(shè)項目。

建議：

（1）正常生產(chǎn)條件下氯、氨、硫酸等有害物質(zhì)濃度可控制在職業(yè)接觸限值范圍內(nèi)。但在事故狀態(tài)下可能出現(xiàn)物料的大量泄漏，導(dǎo)致操作人員急性中毒、化學(xué)灼傷等事故發(fā)生。類比項目運行至今，未發(fā)生職業(yè)病和急性職業(yè)病危害事故，但類比企業(yè)曾發(fā)生過急性中毒事故，因此，建設(shè)單位在建設(shè)過程或今后運行過程中，盡量選擇有利于職業(yè)病防治和保護勞動者健康的新技術(shù)、新工藝和新材料，采用密閉化、機械化、自動化生產(chǎn)工藝，實現(xiàn)勞動者遠距離操作，運行過程中高度重視生產(chǎn)裝置中管線、閥門、儀表等的日常維護和檢修，杜絕物料的跑、冒、滴、漏。加強有毒氣體檢測報警儀的管理和維護，按規(guī)定的時間和程序進行檢定，確保正常運行，并做好運行記錄。針對氨、氯等毒性大、揮發(fā)性強、可能在短時間內(nèi)導(dǎo)致大量泄漏與擴散的化學(xué)品應(yīng)急救援預(yù)案應(yīng)予以落實，并通過日常演練加以完善。

（2）項目運行過程中，建設(shè)單位應(yīng)定期對員工進行職業(yè)衛(wèi)生培訓(xùn)教育和考核，加大對防護用品使用的監(jiān)督檢查力度，教育職工增強個人防護用品佩戴意識，嚴格按崗位職業(yè)衛(wèi)生操作規(guī)程進行作業(yè)，最大限度降低職業(yè)危害。

（3）擬建項目在進行維護檢修時，由于通風(fēng)置換不徹底，可能發(fā)生急性中毒、窒息等事故，檢修人員進入密閉容器檢修前，應(yīng)進行充分的空氣置換排出其內(nèi)部的有毒氣體；經(jīng)檢測合格、檢修人員佩戴好防護用具后才能進入密閉空間，作業(yè)時應(yīng)安排專人進行監(jiān)護。密閉空間作業(yè)過程中應(yīng)執(zhí)行《密閉空間作業(yè)職業(yè)危害防護規(guī)范》有關(guān)規(guī)定。

（4）擬建項目施工前，應(yīng)進行職業(yè)病防護設(shè)施設(shè)計，項目投產(chǎn)后，在試運行30日～180日內(nèi)應(yīng)進行職業(yè)病危害控制效果評價。

（5）建設(shè)項目職業(yè)病危害預(yù)評價報告通過評審后，建設(shè)項目的生產(chǎn)規(guī)模、工藝等發(fā)生變更導(dǎo)致職業(yè)病危害風(fēng)險發(fā)生重大變化的，建設(shè)單位應(yīng)當(dāng)對變更內(nèi)容重新進行職業(yè)病危害預(yù)評價和評審。

專家組評審

意見

根據(jù)《建設(shè)項目職業(yè)病防護設(shè)施“三同時”監(jiān)督管理辦法》規(guī)定，北京國聯(lián)萬眾半導(dǎo)體科技有限公司于2019年3月15日在中國電科十三所辦公樓二樓第二會議室，對第三代半導(dǎo)體材料及應(yīng)用聯(lián)合創(chuàng)新基地項目（一期）職業(yè)病危害預(yù)評價報告（以下簡稱預(yù)評價報告）組織了評審。評審會由李少鵬主持，由任清亮、張炳玉、董慧民組成評審組，任清亮擔(dān)任評審組組長。評審組在聽取了建設(shè)單位對該項目的介紹和評價單位對預(yù)評價報告編制情況和主要內(nèi)容的匯報后，審閱了預(yù)評價報告及相關(guān)文件資料，并進行了質(zhì)詢。根據(jù)評審人員個人評審意見，經(jīng)討論形成如下評審組綜合意見：

一、總體意見

1.《預(yù)評價報告》對施工過程中及建成后可能產(chǎn)生職業(yè)病危害因素的工作場所、工藝設(shè)備、技術(shù)材料等的描述完整；

2.《預(yù)評價報告》對建設(shè)項目施工過程中及建成后可能產(chǎn)生的職業(yè)病危害因素及對勞動者健康危害程度的分析和評價較全面；

3.建設(shè)項目職業(yè)病危害類型判定準(zhǔn)確；

4.《預(yù)評價報告》對建設(shè)項目施工過程中及建成后擬設(shè)置的職業(yè)病防護設(shè)施和個體防護用品分析與評價正確；

5.《預(yù)評價報告》對建設(shè)單位職業(yè)衛(wèi)生管理機構(gòu)設(shè)置和職業(yè)衛(wèi)生管理人員配置及有關(guān)制度建設(shè)的建議符合國家相關(guān)法律、法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范要求；

6.《預(yù)評價報告》針對建設(shè)項目施工過程中及建成后提出的職業(yè)病防護措施和建議基本合理、可行，能夠滿足保護勞動者健康的要求；

7.《預(yù)評價報告》結(jié)論正確。

二、評價報告修改意見

1.補充完善建設(shè)內(nèi)容，核實評價范圍；

2.細化清洗、光刻等危害因素接觸方式及操作過程，并對對應(yīng)的應(yīng)急救援設(shè)施進行評價；

3.專家提出的其他意見。

                                                專家組組長：任清亮            

專家組成員：張炳玉、董慧民

2019年3月15日